大连理工大学

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尘埃颗粒,广泛存在于星际空间中,例如土星环、彗星尾、地球电离层,甚至存在于半导体芯片加工过程中等离子体刻蚀机的放电室中。在我国企业外购芯片面临诸多困境的情况下,生产具有自主知识产权的刻蚀机成为物理学、微电子等众多交叉学科关注的焦点。基于此,该虚拟仿真实验结合尘埃等离子体国家重大实验装置的前沿科学知识,以射频等离子体刻蚀机放电腔室为载体,使学生掌握射频等离子体放电原理及诊断原理的同时,理解尘埃晶格形成的物理原因,认识固体物理中微观晶格理论,了解星际空间中尘埃运动现象。该虚拟实验具有以下特色: 1.不仅使学生巩固了专业理论知识,还结合了等离子体物理最前沿科学成果,拓展了探索研究型的实验内容; 2.解决了真实实验中设备购置成本高、操作风险大、现象重复性差等实验教学中遇到的难题; 3.真正面向用户需求,实验操作允许学生实验失败和多次尝试,操作方式以移动端为主,兼容电脑端可执行的方法,提高了实验的真实性、灵活性和趣味性; 4.使学生认识和了解我国在相关领域的贡献和地位,激发学生继续探索研究的兴趣,增强民族自信心和自豪感。

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